掃描電鏡樣品導電性不足導致圖像模糊的解決方法
日期:2025-09-10
在掃描電鏡(SEM)觀察中,如果樣品導電性不足,會造成電荷積累(charging effect),從而導致圖像模糊、漂移或亮度不均。常見的解決方法有:
導電鍍膜
使用 金(Au)、鉑(Pt)、碳(C)等導電材料進行噴鍍或蒸鍍。
薄膜厚度一般控制在 5–20 nm,既能保證導電性,又盡量不掩蓋細節。
碳鍍膜更適合做 元素分析(EDS/EDX),因為它不會引入金屬元素信號。
降低加速電壓
適當降低 加速電壓(1–5 kV),減少電子在樣品內部的穿透深度,降低電荷積累。
同時可以增強表面敏感性,但要平衡分辨率的需求。
使用低真空或環境 SEM(LV-SEM, ESEM)
在低真空模式下,腔室內有少量氣體分子(如水蒸氣),它們會中和樣品表面電荷。
特別適合生物、陶瓷、高分子等非導電材料。
噴涂導電劑
在樣品表面涂覆 導電銀漆、碳膠等,幫助電荷釋放到樣品臺。
常用于樣品邊緣或背面連接到樣品臺,保證接地良好。
優化樣品安裝
確保樣品與樣品臺接觸良好,避免懸空或接觸不牢。
必要時在樣品邊緣點涂導電膠,增加導電通路。
圖像采集策略
使用慢掃描+幀累積,提高信噪比。
減小電子束電流,降低電荷積累速度。
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作者:澤攸科技
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