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掃描電鏡檢測結果與哪些因素有關

日期:2023-05-08

SEM掃描電鏡是一種高分辨率的成像技術,它使用電子束而不是光來照射樣本,產生非常精細的圖像。SEM檢測結果受以下因素的影響:

樣本制備:樣本制備過程對SEM檢測結果有很大影響。樣品須被切割、切片或切割,并使用化學固定劑進行固定。 如果樣品制備不當,可能會導致樣品表面出現偽影或其它不良影響SEM圖像的因素。

樣品表面形態:樣品表面形態是SEM成像中的一個重要因素。如樣品表面平整光滑,則SEM圖像分辨率高,反之則分辨率低。

操作技術:SEM操作技術的熟練程度,包括電子束的對準、能量的調整和樣品的掃描速度,對SEM成像結果有影響。 進行SEM操作時需要掌握正確的技巧。

儀器性能:SEM儀器的性能對SEM檢測結果也有影響。例如,SEM儀器的分辨率和能量分辨率影響SEM成像質量。

樣品成分:樣品成分也是SEM成像的一個重要因素。 例如,一些元素會在電子束照射下產生很強的反射或散射,導致SEM圖像的亮度或對比度不穩定。

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作者:澤攸科技


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