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掃描電鏡中的電子束和樣品交互作用的影響

日期:2023-06-08

在掃描電鏡中,電子束與樣品之間的相互作用對圖像的形成和質量有重要影響。以下是電子束和樣品交互作用的幾個主要影響:

散射:電子束與樣品中的原子和分子發生散射,產生散射電子。這些散射電子攜帶了樣品表面和內部的信息,可以用于形成圖像。不同類型的散射包括彈性散射、非彈性散射和逆康普頓散射等。

吸收:樣品材料對電子束具有吸收能力。當電子束穿過樣品時,一部分電子會被吸收或散射,從而影響到電子束的強度和能量分布。吸收程度取決于樣品的化學成分和厚度。

透射:對于較薄的樣品或采用透射電子顯微鏡模式,電子束可以穿透樣品,形成透射電子圖像。透射電子圖像提供了關于樣品內部結構和組成的信息。

效應體:當電子束與樣品相互作用時,可能會產生不同的效應體,如電子衍射、X射線發射和二次電子發射等。這些效應體提供了樣品表面和結構特征的信息。

充電效應:電子束與非導電樣品相互作用時,可能會產生充電效應。這導致樣品表面的電子重新分布,可能引起圖像的失真或產生電荷積累的現象。

這些電子束和樣品之間的相互作用會影響到掃描電鏡圖像的對比度、分辨率和信噪比等。掃描電鏡的操作參數(如加速電壓、工作距離)、樣品的性質(如成分、厚度)以及圖像采集參數都會對電子束和樣品交互作用產生影響。因此,在使用掃描電鏡時,需要充分理解和控制電子束和樣品之間的相互作用,以獲得清晰、準確的圖像。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子束和樣品交互作用的影響。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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