掃描電鏡的探針電流對圖像質量有何影響？
日期：2023-06-30
掃描電子顯微鏡（SEM）的探針電流是指通過樣品表面的電子束電流。探針電流的大小可以對掃描電鏡圖像的質量和特性產生影響，主要包括以下幾個方面：
信號強度：較高的探針電流會導致更強的信號生成，這對于獲取較高的信噪比和圖像對比度是有益的。信號強度的增加可以提高圖像的亮度和清晰度，使細節更加明確可見。
樣品損傷：較高的探針電流可能會對樣品產生熱效應，導致樣品受熱、損傷或發生電子束誘導的化學反應。這可能會導致樣品的形貌和化學成分發生改變，從而影響圖像的準確性和可靠性。
解析度：探針電流的增加會影響掃描電鏡的空間分辨率。雖然較高的探針電流可以提供更強的信號，但也會增加電子束的散射和衍射效應，從而降低圖像的解析度和細節呈現能力。
表面充電效應：較高的探針電流可能引起樣品表面的電子束電荷積累，導致電荷不平衡和表面充電效應。這些充電效應可能會導致圖像中出現偽像、扭曲或偏移，并影響材料的真實表面形貌的觀察。
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作者：澤攸科技
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