掃描電子顯微鏡（SEM）的樣品鍍膜是在需要觀察的樣本表面覆蓋一層薄膜，通常是金屬薄膜，以改善樣本在SEM中的成像性能。這種鍍膜過程可以通過物理氣相沉積（PVD）或化學氣相沉積（CVD）等方法進行。

樣品鍍膜的主要目的是：

增加導電性： 許多樣本，特別是非導電的生物樣本或絕緣材料，往往在電子束照射下會產生電荷積累，導致圖像失真或偽影。通過在樣本表面鍍上導電薄膜，可以有效消除電荷積累問題，使電子束能夠更好地通過樣本表面。

增加對比度： 金屬薄膜通常比樣本本身更容易與電子束相互作用，從而產生更強的二次電子和后向散射電子，這可以提高圖像的對比度，使細節更容易觀察。

保護樣本： 一些樣本可能在高真空環境中易受損或氧化。通過鍍上一層薄膜，可以保護樣本免受環境影響，同時還可以保留樣本的形狀和結構。

增加細節顯示： 鍍膜可以使樣本的表面特征更突出，從而更容易觀察到微小的細節和結構。

化學成分分析： 對于金屬鍍膜，還可以使用能量色散X射線譜（EDS）等附加設備對樣本進行化學成分分析，以獲取樣本表面元素的分布信息。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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