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掃描電鏡中的成像參數調節方法有哪些?

日期:2023-08-16

在掃描電鏡中,調整成像參數可以影響圖像的分辨率、對比度、深度和樣品表面的細節顯示。以下是一些常見的SEM成像參數,以及調節方法:

電子束電流: 電子束電流控制了在樣品表面聚焦的電子數量。增加電子束電流可以增強信號,但可能也會損傷樣品表面。降低電子束電流可以延長樣品的壽命。根據需要,您可以逐步調整電子束電流。

加速電壓: 加速電壓影響了電子束的能量,從而影響電子束的穿透能力和成像深度。較高的加速電壓可以提高分辨率,但也可能引起樣品損傷。較低的加速電壓適用于表面成像。調整加速電壓時要考慮分辨率和樣品表面狀況。

工作距離: 工作距離是指電子槍尖和樣品表面之間的距離。較大的工作距離可以提供更大的深度焦平面,但可能降低分辨率。較小的工作距離可以提高分辨率,但需要小心避免樣品損傷。

探測器類型和信號檢測: SEM通常使用二次電子(SE)和反射電子(BSE)來獲得圖像。選擇不同類型的探測器可以獲得不同的信息。例如,SE可以顯示樣品表面形貌,而BSE對樣品成分更敏感。

掃描速度和區域: 調整掃描速度可以影響圖像的獲取時間和質量。較快的掃描速度可能導致較低的圖像質量。選擇適當的掃描區域可以獲得所需的信息,同時減少成像時間。

像素時間和圖像采集: 調整像素時間可以影響圖像的信噪比。較長的像素時間可以提高信號質量,但會延長成像時間。

真空度和樣品處理: 確保SEM室內的適當真空度可以獲得清晰的圖像。樣品的表面處理和涂層也可能影響成像質量。

照明角度: 在一些情況下,調整電子束的入射角度可以改變樣品表面的顯示特征。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的成像參數調節方法。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 



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作者:澤攸科技


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