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如何校準和標定掃描電鏡的圖像尺寸和比例

日期:2023-10-24

要校準和標定掃描電鏡(SEM)的圖像尺寸和比例,您可以按照以下步驟進行:

準備標準樣品: 獲取一個已知尺寸的標準樣品。這個標準樣品通常包括周期性的結構,如柵格或線條,其尺寸已知。這將用于標定SEM圖像。

進行成像: 使用SEM對標準樣品進行成像。確保設置SEM以獲得清晰的圖像。拍攝多個圖像,以涵蓋不同的區域和角度。

測量SEM圖像中的特征: 在獲得SEM圖像后,使用SEM軟件或圖像處理工具來測量標準樣品中的特征的尺寸。通常,您需要測量多個特征以獲得更準確的結果。

計算尺寸和比例: 使用已知的標準樣品尺寸,將SEM圖像中的測量結果與實際尺寸進行比較。這將允許您計算出SEM圖像中的比例因子。

應用標定: 在SEM軟件中,輸入您計算出的比例因子。這將允許軟件將測量結果映射到實際尺寸。

檢驗標定結果: 對其他樣品或結構進行測量以驗證標定的準確性。如果測量結果與預期的實際尺寸相符,那么標定是準確的。

定期校準: 校準不是一次性的過程。SEM系統可能會受到變化,因此建議定期校準以確保圖像尺寸和比例的準確性。

ZEM20臺式掃描電鏡

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以上就是澤攸科技小編分享的如何校準和標定掃描電鏡的圖像尺寸和比例。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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