掃描電鏡的成像中電子束如何與樣品相互作用
日期：2023-12-15
在掃描電子顯微鏡中，電子束與樣品之間存在多種相互作用，這些相互作用產生的信號被用于生成樣品表面的圖像。以下是主要的電子束與樣品相互作用過程：
彈性散射：
這是基本的相互作用過程，其中入射的高能電子與原子核或電子云相互作用，導致電子的方向發生改變，但其能量保持不變。這不會直接產生圖像，但可以提供有關樣品的一些結構信息。
非彈性散射：
在非彈性散射中，入射電子與樣品中的原子或電子發生相互作用，導致電子喪失或獲得能量。這些能量損失的電子稱為散射電子，它們可以提供有關樣品組成的信息。
二次電子發射：
當高能電子與樣品表面原子相互作用時，可能會引起表面原子中的一個或多個電子被釋放出來，形成稱為二次電子的電子。這些二次電子是生成SEM圖像的主要信號。不同材料的表面形貌差異可以通過捕捉和檢測二次電子來可視化。
反射電子：
部分入射電子可能會經歷彈性散射并以較高的能量返回，這些被稱為反射電子。這些電子的能量與樣品的原子序數有關，因此可以提供有關樣品組成的信息。
這些相互作用過程產生的不同信號通過探測器捕獲，并轉換成電信號，然后用于生成圖像。通過掃描電子束并記錄不同位置的信號，可以形成高分辨率的表面形貌圖像。這種圖像提供了關于樣品表面微觀結構和組成的詳細信息。
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作者：澤攸科技
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