在掃描電鏡（SEM）中，光束掃描和機械掃描是兩種用于掃描樣品并生成圖像的不同方式。它們各自有不同的工作原理和應用場景。

1. 光束掃描 (Beam Scanning)

光束掃描是現代掃描電鏡中常用的掃描方式，它通過控制電子束的運動來實現對樣品的掃描。

原理：

在光束掃描中，電子束本身是由掃描系統控制的。電子束在樣品表面按一定的模式（通常是像素掃描的方式）掃描，通過改變電子束的方向來逐步覆蓋整個樣品。

掃描電子束的速度、掃描區域的大小以及掃描模式（例如線掃描、點掃描等）都可以調節。通過電子束與樣品表面的相互作用（如二次電子、背散射電子、X射線等），掃描得到的數據用于生成圖像。

特點：

高分辨率：由于電子束直接作用于樣品表面，光束掃描可以獲得非常高的分辨率（納米級別），因此通常用于表面形貌的觀察。

快速掃描：在大多數現代 SEM 中，電子束掃描是非?？焖俚?，能夠在較短的時間內完成大范圍的樣品掃描。

靈活性高：掃描區域的尺寸和掃描的速度都可以靈活調節。

優點：

無需移動樣品，掃描過程主要通過調整電子束位置來完成，因此可以更快地獲得圖像。

可以通過調整加速電壓、掃描速率等參數來優化圖像質量。

可以在微米到納米尺度上進行非常高精度的觀察。

缺點：

依賴于電子束與樣品的相互作用，可能會受到樣品表面電荷積累等因素的影響。

光束掃描的結果受樣品材質、形態和電學特性的影響較大。

2. 機械掃描 (Mechanical Scanning)

機械掃描方式則是通過移動樣品來實現掃描。也就是說，掃描是通過精確控制樣品臺的運動來完成的，而不是通過控制電子束的運動。

原理：

在機械掃描中，樣品臺被控制在掃描過程中沿著 X、Y 方向移動，逐步掃描樣品表面。

在每次移動后，電子束仍然是固定的，只是通過樣品臺的運動來改變掃描位置。

這種方法通常需要機械驅動系統，控制樣品臺沿不同的方向精確移動。

特點：

較低的分辨率：由于是通過樣品臺的運動來改變掃描位置，機械掃描的分辨率通常不如光束掃描高，但在較大范圍的掃描中仍然適用。

較慢的掃描速度：相比光束掃描，機械掃描通常較慢，因為它依賴于樣品臺的物理運動，而不僅僅是電子束的快速掃描。

適合較大區域掃描：機械掃描適用于大范圍的樣品掃描，例如較大的樣品表面或區域。

優點：

對于某些較為厚重或較大的樣品，機械掃描可能更為適用，尤其是在掃描較大的表面時。

可以結合其他技術，如 X 射線成像或其他探測器，進行聯合成像。

缺點：

掃描速度較慢，尤其是在需要進行高分辨率掃描時。

由于機械運動，可能會受到機械誤差或震動的影響，導致圖像質量下降。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的光束掃描與機械掃描有何不同。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢