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掃描電鏡的樣品臺能否傾斜?

日期:2025-02-10

掃描電鏡(SEM)的樣品臺通??梢詢A斜,這一功能對于獲得高質量成像效果和分析結果非常重要。

樣品臺傾斜的功能和作用

增強表面特征的可見性:

傾斜樣品可以改變入射電子束與樣品表面的角度,從而提高表面特征的對比度和清晰度。

特別是對于高度起伏的樣品,傾斜有助于減少影像中的陰影區域。

提高信號收集效率:

傾斜樣品可以增加二次電子或背散射電子的發射角,從而提高信號強度。

對于某些檢測器(如背散射電子檢測器),樣品的傾斜有助于優化信號采集。

測量晶體取向:

在電子背散射衍射(EBSD)分析中,樣品通常需要傾斜到 70° 左右,以優化衍射圖案的信號強度。

元素成分分析:

在能譜分析(EDS)中,適當傾斜樣品可以改善 X 射線的出射路徑,減少信號吸收,提高分析精度。

樣品臺的傾斜范圍

大多數 SEM 的樣品臺傾斜范圍在 0° 到 90° 之間,但具體范圍取決于設備的型號和樣品臺設計。

一些高精度樣品臺可能支持微小角度的調整,以便進行更加精細的優化。

傾斜樣品的注意事項

樣品高度限制:

傾斜樣品后,其實際高度會增加,需要注意樣品與電鏡鏡筒之間的距離,以避免發生碰撞。

視場變化:

傾斜樣品會改變電子束在樣品上的投影面積,可能導致視場形狀從圓形變為橢圓形。

電荷積累和分辨率影響:

對于非導電樣品,傾斜可能導致電荷分布不均,影響成像質量。

高傾斜角度下,圖像分辨率可能會有所下降。

校準:

傾斜樣品后,特別是用于測量的圖像,需要校正透視效應和角度誤差。

如何操作樣品臺傾斜?

通過 SEM 控制界面:

現代 SEM 設備大多配備了電動樣品臺,用戶可以在軟件界面中通過滑塊或輸入角度數值進行調整。

手動調整(舊型號或特殊設備):

某些 SEM 可能需要手動調節樣品臺上的旋鈕以設置傾斜角度。

傾斜的實時觀察:

監控樣品在屏幕上的圖像,并根據成像需求逐步調整角度,直至達到理想效果。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的樣品臺能否傾斜。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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