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      如何在掃描電鏡中實現局部放大?

      日期:2025-04-22

      在掃描電鏡(SEM)中實現局部放大,即放大樣品上某一特定區域,通常用于觀察細節結構或缺陷特征,可以通過以下幾種方式實現:

      方法一:調整放大倍率(Magnification)

      直接方式:

      使用 SEM 控制界面中的 “放大倍率”滑塊或輸入框,逐步放大圖像。

      鼠標點擊或拖動至目標區域后再提升倍率,可實現該區域的放大觀察。

      放大倍率越高,視野越小,需精準對準目標。

      方法二:圖像導航功能(Image Navigation)

      適用于有圖像縮略圖的系統:

      首先在低倍圖像下獲得全貌。

      使用導航窗口點擊目標區域或框選區域,即可快速切換視野。

      再手動調高倍率,觀察該區域細節。

      方法三:電子束移動(Stage 不動)

      保持樣品平臺位置不變,僅移動電子束掃描區域:

      使用“Beam Shift”或“Scan Shift”功能微調掃描窗口。

      適合對微小區域進行快速放大對準,避免平臺移動帶來的抖動或漂移。

      方法四:平臺精細移動實現區域選擇

      如果目標區域較遠或需精確定位:

      先用低倍成像觀察樣品整體。

      利用樣品臺的 X、Y、Z 或傾斜旋轉功能,精確移動至目標區域。

      然后再逐步提高倍率,查看局部。

      方法五:區域放大輔助功能(部分 SEM 軟件支持)

      在圖像中直接框選目標區域。

      系統會自動放大該選區并居中顯示。

      適用于快速局部觀察和圖像采集。


      TAG:

      作者:澤攸科技


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