中文
English

判斷掃描電鏡（SEM）是否需要重新調焦，可以通過以下幾個方法和信號來判斷：

一、圖像質量變化

圖像模糊

如果圖像出現模糊或不清晰的現象，即使在適當的電流和加速電壓下，通常是焦點不準的表現。特別是在成像時無法看到細節或有明顯的陰影。

邊緣不清晰

掃描電鏡的焦點不準時，樣品的邊緣會變得模糊或不鋒利，難以分辨細小的結構。

圖像對比度降低

失焦可能導致圖像的對比度不如正常時明顯，細節缺失或無法區分樣品的不同部分。

層次感下降

掃描電鏡需要通過精確的焦距來獲得樣品表面的三維信息。如果焦距偏離，可能導致表面形態不清晰或立體感不足。

二、樣品特性變化

焦點漂移

如果在長時間成像過程中，圖像的清晰度不斷下降，可能是焦點漂移導致的。通常需要重新校準焦距。

層間對比度變化

對于較復雜或多層的樣品，焦距不準會影響層間的對比度，使得不同層次之間的區分變得困難。

三、操作過程中出現的問題

掃描過程中出現"散射"或"模糊"

在較低放大倍率下，如果圖像顯示正常但在高放大倍率下圖像變得模糊，可能是焦點失準所致。

點像散射

如果發現圖像中出現明顯的圓形散點或亮斑，可能是樣品表面或內部的聚焦不準確。

四、通過實際操作判斷

焦點校準（Adjust Focus）

進入SEM的焦點調整模式，嘗試微調焦點。若圖像迅速變得更清晰或者更加模糊，則說明焦點需要重新調整。

利用電子束掃描小物體

通過掃描已知細節明確的小物體（例如細微顆粒、裂縫等），檢查是否能獲得高質量的清晰度和細節。如果不清晰，可能是焦距不合適。

檢查圖像清晰度曲線

一些SEM設備提供焦距校準功能，可以通過查看圖像清晰度隨焦距的變化來確定是否需要重新調焦。

五、其他判斷方法

調節電流時的響應

調整探針電流（束流強度）時，如果焦點不正確，圖像的亮度和對比度可能變化不規律。

使用標準樣品

使用已知的標準樣品（如標準微米顆粒）進行測試，觀察圖像是否能清晰呈現。如果無法清晰顯示標準樣品的細節，則說明可能需要重新調焦。