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      樣品表面污染會如何影響掃描電鏡成像?

      日期:2025-05-14

      樣品表面污染會顯著影響掃描電鏡(SEM)成像質量,具體表現和影響如下:

      1. 圖像分辨率下降

      污染層可能遮蓋住樣品的真實微觀結構,使電子束無法準確聚焦在目標區域,從而導致圖像模糊、細節丟失。

      2. 偽影與噪聲增加

      污染物在電子束轟擊下可能產生次級電子、X 射線或帶電荷積累,導致圖像中出現非真實結構的明暗條紋、亮斑或陰影。

      3. 充電效應加重

      污染層通常為非導電材料,容易引起電子束照射區域的電荷積累,造成:

      圖像漂移

      像素扭曲

      明暗不均

      4. 成分分析失真

      在進行能譜(EDS)分析時,污染層會引入額外元素信號,干擾對樣品真實成分的判斷。

      5. 電子束誘導污染加劇

      污染層可能在高劑量電子束照射下發生聚合或熱分解,形成更厚的碳沉積物或其他反應產物,進一步惡化成像質量。

      應對措施建議:

      使用等離子體或紫外清洗樣品,去除表面有機污染。

      使用高真空或低劑量條件,避免污染擴散。

      保持手套、鑷子和樣品盒潔凈,避免人為污染。

      若已成像污染嚴重,可更換觀測區域或重新制備樣品。


      TAG:

      作者:澤攸科技


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