掃描電鏡的樣品臺有哪幾種運動方式？
日期：2025-08-13
掃描電鏡（SEM）的樣品臺常見的運動方式主要包括以下幾類，每種運動方式都對應不同的調節需求：
1. 平移運動
X 方向：左右移動樣品。
Y 方向：前后移動樣品。
這兩個方向的移動主要用于選擇觀察區域或掃描范圍。
2. 垂直運動
Z 方向：上下調節樣品高度。
調節 Z 軸主要是為了控制工作距離（WD），影響焦距和放大倍數。
3. 傾斜運動（Tilt）
將樣品臺繞 X 或 Y 軸傾斜一定角度（例如 ±90° 或 ±45°，視機型而定）。
傾斜常用于測量表面臺階高度、觀察側面結構，或者配合 EDS（能譜）分析優化信號采集。
4. 旋轉運動（Rotation）
繞垂直于樣品臺平面的軸旋轉（360° 或有限角度）。
旋轉便于從不同方位觀察樣品，尤其在立體形貌分析和多角度成像時很有用。
5. 復合運動
部分SEM 樣品臺支持多軸聯動，可以在移動、旋轉、傾斜中保持某個點在視場中心。
這對于納米級定位和高精度重復觀察非常重要。
6. 特殊運動
偏心旋轉（一些帶探針或特殊夾具的臺面）
連續掃描移動（用于大面積拼圖成像）
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作者：澤攸科技
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