掃描電鏡可以直接測量尺寸嗎？
日期：2025-08-22
在掃描電鏡（SEM）里，圖像是通過電子束掃描和信號采集生成的，像素大小與放大倍數和工作條件直接相關。因此，掃描電鏡的確可以用來測量尺寸，但準確度取決于以下幾點：
1. 標尺校準
掃描電鏡圖像通常會自帶比例尺（scale bar），這是基于儀器的放大倍數和掃描參數計算出來的。
在正式測量前，可以用已知尺寸的標準樣品（例如金屬網格或球形顆粒）進行校準，確保比例尺準確。
2. 測量方式
可以直接利用軟件工具，在圖像上用比例尺換算尺寸。
現代掃描電鏡控制軟件一般提供“測距”功能，點取兩個位置即可得到距離。
3. 影響因素
放大倍數和分辨率：放大越高，像素大小越小，測量更準確。
樣品傾斜：如果樣品表面不是垂直于電子束，測量會出現幾何畸變。
像差與充電效應：會導致邊緣模糊，影響判定邊界的位置。
掃描非線性：電子束掃描在大視場下可能稍有畸變。
4. 適用范圍
掃描電鏡適合測量 納米到微米尺度的長度、顆粒直徑、厚度、間距 等。
對于三維厚度或埋藏結構，SEM 不能直接測量，只能結合樣品制備或其它技術（如 FIB、TEM、AFM）來輔助。
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作者：澤攸科技
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