掃描電鏡樣品臺能旋轉和傾斜嗎?
日期:2025-08-29
大多數掃描電鏡(SEM)的樣品臺都具備旋轉和傾斜功能,目的是為了更靈活地觀察樣品不同角度的結構。具體情況如下:
1. 樣品臺旋轉
水平旋轉(旋轉軸):樣品可以繞垂直軸旋轉,方便掃描整個樣品表面而無需移動樣品。
用途:對比不同區域、拍攝全景、實現多視角成像。
旋轉范圍:一般 360° 連續旋轉,部分 SEM 有限制角度或步進旋轉。
2. 樣品臺傾斜(傾角/俯仰角)
傾斜軸:樣品可以繞水平軸傾斜一定角度。
用途:
觀察樣品側面結構或微小凹凸。
進行金相分析或斷面觀察。
優化二次電子(SE)或背散射電子(BSE)信號對比。
傾斜范圍:通常 ±30° 到 ±70°,一些型號可達 ±90°。
3. 注意事項
傾斜后樣品高度會改變,需要重新調整工作距離(WD) 和 聚焦。
傾斜角度過大可能導致 樣品碰到腔壁或探頭,要小心操作。
重量或形狀不規則的樣品傾斜時要保證固定穩固,避免脫落。
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作者:澤攸科技
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