掃描電鏡拍照時如何對焦更清晰？
日期：2025-04-17
在掃描電鏡（SEM）拍照時，要獲得清晰對焦的圖像，你需要合理調節一系列參數與操作流程。以下是對焦更清晰的實用技巧與步驟：
一、操作步驟：如何快速正確對焦
1. 選擇高對比區域或邊緣特征進行對焦
找一個有清晰邊緣、紋理或納米結構的區域來對焦；
平坦無特征的區域不容易對準焦點。
2. 使用“粗調 + 細調”結合的方式
先在較低倍率（比如 500×）下進行粗對焦；
然后切換到更高倍率（5000×、10000×）進行精細對焦；
記得：焦距在不同倍率下略有不同，建議逐級對焦。
3. 使用“Wobble”功能輔助對焦（如果支持）
Wobble 是交替振蕩束流位置，用于優化“消像散”（Stigmator）時使用；
可邊觀察圖像抖動邊調整以獲得銳利焦點。
二、關鍵參數調整技巧
4. 調整工作距離（WD, Working Distance）
通常WD 越短，景深越小，分辨率越高，成像更清晰；
WD 范圍：4~10 mm（具體依機型和探頭而定）；
但注意太近會讓樣品表面易受電荷積聚影響。
5. 調節束流電流（Beam Current）
高束流有利于提高信噪比，清晰度更高；
但高電流也會引入樣品損傷或模糊邊緣，要平衡設置；
常用調節范圍：幾十 pA 到幾 nA。
6. 適當使用聚焦調節（Focus）和像散校正（Stigmator）
使用 X/Y stigmator 調節消除圖像拉伸或模糊；
特別是在高倍率（>10,000×）下對焦后，需再調 stigmator。
三、圖像穩定與降噪建議
7. 等待熱漂移穩定
開機后預熱 20~30 分鐘；
電鏡溫度穩定后成像更清晰，不容易漂移；
8. 使用慢速掃描提高成像清晰度
慢掃描減少掃描噪聲；
如果圖像模糊不清，可選擇中等幀率 + 多幀疊加平均；
四、樣品準備對成像清晰度的影響
9. 樣品表面盡量平整、導電
凹凸不平或絕緣樣品易產生偽影或充電模糊；
噴金、噴碳或蒸鍍薄層金屬膜有助于成像清晰。
10. 樣品安裝要牢固，避免震動
樣品若晃動，即便對焦也會圖像模糊；
建議使用碳膠、導電膠、銀漿牢固粘貼。
作者：澤攸科技