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      掃描電鏡的掃描速度對成像質量有何影響?

      日期:2025-04-18

      掃描電鏡(SEM)的掃描速度對成像質量有非常重要的影響,它會直接決定圖像的清晰度、噪聲水平、對比度以及成像時間。下面是詳細解釋:

      一、掃描速度快的影響(短駐留時間)

      當掃描速度較快(也就是電子束在每個像素上的駐留時間很短)時:

      1. 圖像信噪比較低

      電子束每個像素只激發出較少的二次電子/背散射電子 → 電子信號較弱

      信號電流低,圖像中噪聲增多,顆粒感強

      2. 圖像模糊或對比度差

      由于信號不充分,細節邊緣模糊,輪廓不清晰

      易出現“漂移”或“條紋”偽影,特別是樣品不穩定時

      3. 優點:成像速度快

      適合快速預覽、尋找感興趣區域、對焦調節

      二、掃描速度慢的影響(長駐留時間)

      當掃描速度較慢(電子束在每個像素上停留更久)時:

      1. 圖像更清晰

      激發出的電子更多 → 信號更強,圖像更銳利、邊緣更清楚

      2. 噪聲更少

      信噪比高,圖像更平滑、顆粒感低,對比度好

      3. 缺點:成像時間長

      整幅圖像采集時間變長,樣品更容易受:

      熱漂移(特別是納米尺度)

      充電效應(非導電樣品)

      機械漂移或電子束漂移


      TAG:

      作者:澤攸科技


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